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      產品中心
      激光驅動白光光源
      單點激光驅動光源技術，并將其命名為LDLS（Laser Driven Light Source），該類光源不僅可以在170 nm至2100nm的光譜范圍內提供超高發光亮度，而且整個光源的發光壽命相比較于傳統光源也高出了整整一個數量級。
      激光驅動光源

      EQ-99X-CAL LDLS
      LDLS 激光驅動光源

      EQ-99X-QZ-S
      LDLS 激光驅動光源

      EQ-99X-FC-S
      激光驅動光源

      EQ-400 LDLS
      激光驅動光源

      EQ-77 LDLS
      激光驅動光源

      EQ-9 LDLS
      10 Watt EUV 光源

      EQ-10
      20W EUV 光源

      EQ-10HP
      高脈沖重頻10 kHz EUV 光源

      EQ-10HR
      激光驅動可調諧光源

      TLS-EQ-9
      激光驅動可調諧光源

      TLS-EQ-77
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